Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов
Основан в 2009 году


Метод ионного перемешивания для формирования силицидного слоя

Г.А. Мустафаев1, А.Г. Мустафаев2, В.А. Панченко1, Н.В. Черкесова1

1ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова»
2ГАОУ ВО «Дагестанский государственный университет народного хозяйства»

DOI: 10.26456/pcascnn/2020.12.868

Аннотация: Ионная имплантация ионами отдачи или ионное перемешивание, основанное на внедрении требуемой примеси из поверхностных слоев при передаче им кинетической энергии первичного пучка, имеют большие перспективы для получения структур и соединений с заданными свойствами. В процессе масштабирования сверхбольших интегральных схем паразитное сопротивление межсодинений и неомический характер контактов являются ограничивающими факторами. Перспективными материалами для использования в системах металлизации являются силициды тугоплавких металлов. В работе проведено исследование по внедрению ионов фосфора в систему молибден-кремний.  Полученные результаты демонстрируют возможность формирования силицида молибдена при пониженной температуре, применением имплантации ионов, вызывающих ионное перемешивание. Разработанная технология позволяет достичь однородной границы раздела силицида с кремнием, и необходимые электрофизические характеристики метализации и омических контактов. Из-за заглубления границы раздела в объем полупроводника снижается влияние состояния поверхности кремния на параметры омических контактов, в результате обеспечивается их необходимая стабильность и воспроизводимость.

Ключевые слова: ионная имплантация, омический контакт, металлизация, силицид, магнетронное напыление, термообработка, интегральная схема.

Библиографическая ссылка:

Мустафаев, Г.А. Метод ионного перемешивания для формирования силицидного слоя / Г.А. Мустафаев, А.Г. Мустафаев, В.А. Панченко, Н.В. Черкесова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2020. — Вып. 12. — С. 868-874. DOI: 10.26456/pcascnn/2020.12.868.

Полный текст: загрузить PDF файл

Комментарии отключены.