Влияние термообработки на состояние тонкопленочной системы Cr + Ni на кремнии

О.Г. Ашхотов, И.Б. Ашхотова, М.А. Алероев, Д.А. Крымшокалова

ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова»

DOI: 10.26456/pcascnn/2019.11.535

Аннотация: С использованием оже-электронной спектроскопии проведено экспериментальное исследование системы Si — Cr — Ni. Сравнительный анализ результатов до и после воздействия термоудара на границах раздела показал влияние температуры на распределение элементов по толщине напыленных слоев. Увеличение количества термоударов приводит к тому, что на поверхности кремниевой подложки остается никель, а хром диффундирует в кремний.

Ключевые слова: анализ, подложка, распределение, спектр, система, монохроматичность, энергоанализатор, термоудар, электронная пушка, температура, диффузия, адгезия.

Библиографическая ссылка:

Ашхотов, О.Г. Влияние термообработки на состояние тонкопленочной системы Cr + Ni на кремнии / О.Г. Ашхотов, И.Б. Ашхотова, М.А. Алероев и др. // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. — Тверь: Твер. гос. ун-т, 2019. — Вып. 11. — С. 535-539.

Полный текст: загрузить PDF файл