Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов
Основан в 2009 году


Модификация поверхности кремния при воздействии излучения наносекундного ультрафиолетового лазера

Т.В. Малинский1, С.И. Миколуцкий1, В.Е. Рогалин1, Ю.В. Хомич1, В.А. Ямщиков1, И.А. Каплунов2, А.И. Иванова2

1ФГБУН «Институт электрофизики и электроэнергетики Российской академии наук»
2ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»,

DOI: 10.26456/pcascnn/2020.12.628

Аннотация: Методами оптической профилометрии и сканирующей электронной микроскопии исследовано воздействие излучения наносекундного ультрафиолетового лазера (λ = 355 нм, длительность импульса 10 нс, энергия в импульсе – до 8 мДж, частота следования импульсов до 100 Гц) на монокристалл кремния. При плотности энергии ≥ 1,2 Дж/см2 наблюдалось образование плазменного факела и кратера. При плотности энергии ≥ 0,2 Дж/см2, возникают очаги микропробоя на дефектах обработки и зафиксированы следы неконтролируемого поднятия поверхности. Облучение сканирующим пучком лазера при плотности энергии 0,2 Дж/см2 образует микрократеры на поверхности размером несколько мкм. С увеличением плотности энергии размер микропробоев увеличивался, и при плотности энергии ≥ 0,7 Дж/см2 воздействие сканирующим лучом образует сплошную зону повреждений.

Ключевые слова: лазерное воздействие, монокристалл кремния, УФ лазер, наносекундный импульс, микро- и наномодификация поверхности, пластическая деформация.

Библиографическая ссылка:

Малинский, Т.В. Модификация поверхности кремния при воздействии излучения наносекундного ультрафиолетового лазера / Т.В. Малинский, С.И. Миколуцкий, В.Е. Рогалин, Ю.В. Хомич, В.А. Ямщиков, И.А. Каплунов, А.И. Иванова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2020. — Вып. 12. — С. 628-636. DOI: 10.26456/pcascnn/2020.12.628.

Полный текст: загрузить PDF файл

Комментарии отключены.