Межвузовский сборник научных трудов «Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов»


Технологические подходы для создания модифицированных многослойных покрытий на основе наноструктурированного пористого анодного Al2O3 и осажденных диэлектрических пленок

Д.Л. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.529

Аннотация: Исследованы технологические методы и режимы формирования дополнительных неорганических диэлектрических пленок при вакуумном напылении на наноструктурированные пористые алюмооксидные основания. Получены модифицированные многослойные структуры, обладающие закрытой пористостью. Продемонстрировано улучшение теплофизических и электрофизических свойств конечных диэлектрических покрытий на алюминиевых основаниях.
Ключевые слова: алюминий, электрохимическое анодирование, пористый анодный оксид алюминия, наноструктурированный материал, вакуумное осаждение, теплофизические и электрофизические свойства.

Библиографическая ссылка:
Шиманович, Д.Л. Технологические подходы для создания модифицированных многослойных покрытий на основе наноструктурированного пористого анодного Al2O3 и осажденных диэлектрических пленок / Д.Л. Шиманович // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 529-535.

Полный текст: загрузить pdf файл

Technological approaches for modified multilayer coatings formation based on nanostructured porous anodic Al2O3 and deposited dielectric films

D.L. Shimanovich
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.529

Abstract: Technological methods and conditions for additional inorganic dielectric films formation using the vacuum deposition on nanostructured porous alumina bases are investigated. Modified multilayer structures with closed porosity have been obtained. The improvement of thermophysical and electrophysical properties of finite dielectric coatings on aluminum substrates is demonstrated.
Keywords: aluminum, electrochemical anodization, porous anode alumina, nanostructured material, vacuum deposition, thermophysical and electrophysical properties.

Bibliography link:
Shimanovich, D.L. Technological approaches for modified multilayer coatings formation based on nanostructured porous anodic Al2O3 and deposited dielectric films / D.L. Shimanovich // Physical and chemical aspects of the study of clusters, nanostructures and nanomaterials: Interuniversity collection of proceedings / Ed. by V.M. Samsonov, N.Yu. Sdobnyakov. – Tver: TSU, 2017. – I. 9. – P. 529-535.

Full text (in Russian): download pdf file

Комментарии отключены.