Технологические подходы для создания модифицированных многослойных покрытий на основе наноструктурированного пористого анодного Al2O3 и осажденных диэлектрических пленок
Д.Л. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.529
Аннотация: Исследованы технологические методы и режимы формирования дополнительных неорганических диэлектрических пленок при вакуумном напылении на наноструктурированные пористые алюмооксидные основания. Получены модифицированные многослойные структуры, обладающие закрытой пористостью. Продемонстрировано улучшение теплофизических и электрофизических свойств конечных диэлектрических покрытий на алюминиевых основаниях.
Ключевые слова: алюминий, электрохимическое анодирование, пористый анодный оксид алюминия, наноструктурированный материал, вакуумное осаждение, теплофизические и электрофизические свойства.
Библиографическая ссылка:
Шиманович, Д.Л. Технологические подходы для создания модифицированных многослойных покрытий на основе наноструктурированного пористого анодного Al2O3 и осажденных диэлектрических пленок / Д.Л. Шиманович // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 529-535.
Полный текст: загрузить pdf файл