Межвузовский сборник научных трудов «Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов»


АСМ исследование морфологии поверхностного слоя сапфира после плазменной обработки поверхности

Р.Р. Нагаплежева, М.М. Оракова, В.К. Люев
ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова»

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.337

Аннотация: Проведено методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) исследование поверхности сапфира после плазменной обработки. Получены АСМ изображения поверхности сапфира в исходном состоянии и после плазменной обработки. Установлено, что после плазменной обработки среднее арифметическое отклонение профиля поверхности увеличивается и при этом поверхность становится более однородной.
Ключевые слова: плазма, метод сканирующей зондовой микроскопии, метод атомно-силовой микроскопии, сапфир.

Библиографическая ссылка:
Нагаплежева, Р.Р. АСМ исследование морфологии поверхностного слоя сапфира после плазменной обработки поверхности / Р.Р. Нагаплежева, М.М. Оракова, В.К. Люев // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 337-340.

Полный текст: загрузить pdf файл

AFM research of morphology of surface layer sapphire after plasma surface treatment

R.R. Nagaplezheva, M.M. Orakova, V.K. Luev
Kabardino-Balkarian State University named after H.M. Berbekov

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.337

Abstract: An AFM study of the sapphire surface after plasma treatment was carried out. The AFM images of the sapphire surface in the initial state and after plasma treatment are obtained. It is established that after plasma treatment the arithmetic mean deviation of the surface profile increases and the surface becomes more homogeneous.
Keywords: plasma, scanning probe microscopy, atomic force microscopy, sapphire.

Bibliography link:
Nagaplezheva, R.R. AFM research of morphology of surface layer sapphire after plasma surface treatment / R.R. Nagaplezheva, M.M. Orakova, V.K. Luev // Physical and chemical aspects of the study of clusters, nanostructures and nanomaterials: Interuniversity collection of proceedings / Ed. by V.M. Samsonov, N.Yu. Sdobnyakov. – Tver: TSU, 2017. – I. 9. – P. 337-340.

Full text (in Russian): download pdf file

Комментарии отключены.