Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов
Основан в 2009 году


АСМ исследование морфологии поверхностного слоя сапфира после плазменной обработки поверхности

Р.Р. Нагаплежева, М.М. Оракова, В.К. Люев
ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова»

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.337

Аннотация: Проведено методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) исследование поверхности сапфира после плазменной обработки. Получены АСМ изображения поверхности сапфира в исходном состоянии и после плазменной обработки. Установлено, что после плазменной обработки среднее арифметическое отклонение профиля поверхности увеличивается и при этом поверхность становится более однородной.
Ключевые слова: плазма, метод сканирующей зондовой микроскопии, метод атомно-силовой микроскопии, сапфир.

Библиографическая ссылка:
Нагаплежева, Р.Р. АСМ исследование морфологии поверхностного слоя сапфира после плазменной обработки поверхности / Р.Р. Нагаплежева, М.М. Оракова, В.К. Люев // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 337-340.

Полный текст: загрузить pdf файл