Interuniversity Collection of Proceedings "Physical and chemical aspects of the study of clusters, nanostructures and nanomaterials"
Founded at 2009


Магнитооптический контроль пространственных распределений магнитного поля микроэлектромеханических систем

М.К. Вирченко, Р.М. Егужокова, А.Б. Залетов, А.И. Иванова
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.128

Аннотация: Проведено исследование пространственных распределений магнитного поля в широких пределах микроэлектромеханических систем (МЭМС) с помощью магнитооптических индикаторных плёнок феррит-гранатов (МОИП). Для повышения точности и расширения динамического диапазона была разработана процедура измерений с помощью вспомогательных внешних полей, накладываемых на образец в процессе испытаний, что приводит к контролируемому смещению изолиний нулевого поля объекта в ту или иную сторону.
Ключевые слова: магнитные измерения, магнитооптические эффекты, индикаторные плёнки, феррит-гранаты, микроэлектромеханические системы (МЭМС), динамический диапазон измерений.

Библиографическая ссылка:
Вирченко, М.К. Магнитооптический контроль пространственных распределений магнитного поля микроэлектромеханических систем / М.К. Вирченко, Р.М. Егужокова, А.Б. Залетов, А.И. Иванова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 128-132.

Полный текст: загрузить pdf файл

Magnetooptical control of spatial magnetic field distribution in microelectromechanical systems

M.K. Virchenko, R.M. Eguzhokova, A.B. Zaletov, A.I. Ivanova
Tver State University

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.128

Abstract: A study is performed of the spatial distribution of magnetic field of a microelectromechanical systems (MEMS) with the aid of magneto-optical indicator ferrite garnet films (MOIF). In order to increase the accuracy and the dynamic range of measure a procedure was developed including the use of auxiliary external field resulting in a controlled shift of the zero-field lines. In this case the MOIF serves as a null-indicator eliminating the dependence of the measuring results on the specific transfer parameters (linearity characteristics). Imposition of biasing field provides a possibility of shifting the saturation threshold field of the MOIF either in the region of positive or negative values.
Keywords: magnetic measurements, magneto-optical effects, indicator films, microelectromechanical systems (MEMS), dynamic range of measurement.

Bibliography link:
Virchenko, M.K. Magnetooptical control of spatial magnetic field distribution in microelectromechanical systems / M.K. Virchenko, R.M. Eguzhokova, A.B. Zaletov, A.I. Ivanova // Physical and chemical aspects of the study of clusters, nanostructures and nanomaterials: Interuniversity collection of proceedings / Ed. by V.M. Samsonov, N.Yu. Sdobnyakov. – Tver: TSU, 2017. – I. 9. – P. 128-132.

Full text (in Russian): download pdf file

Comments are closed.