Межвузовский сборник научных трудов «Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов»
Основан в 2009 году


Магнитооптический контроль пространственных распределений магнитного поля микроэлектромеханических систем

М.К. Вирченко, Р.М. Егужокова, А.Б. Залетов, А.И. Иванова
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.128

Аннотация: Проведено исследование пространственных распределений магнитного поля в широких пределах микроэлектромеханических систем (МЭМС) с помощью магнитооптических индикаторных плёнок феррит-гранатов (МОИП). Для повышения точности и расширения динамического диапазона была разработана процедура измерений с помощью вспомогательных внешних полей, накладываемых на образец в процессе испытаний, что приводит к контролируемому смещению изолиний нулевого поля объекта в ту или иную сторону.
Ключевые слова: магнитные измерения, магнитооптические эффекты, индикаторные плёнки, феррит-гранаты, микроэлектромеханические системы (МЭМС), динамический диапазон измерений.

Библиографическая ссылка:
Вирченко, М.К. Магнитооптический контроль пространственных распределений магнитного поля микроэлектромеханических систем / М.К. Вирченко, Р.М. Егужокова, А.Б. Залетов, А.И. Иванова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 128-132.

Полный текст: загрузить pdf файл

Magnetooptical control of spatial magnetic field distribution in microelectromechanical systems

M.K. Virchenko, R.M. Eguzhokova, A.B. Zaletov, A.I. Ivanova
Tver State University

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.128

Abstract: A study is performed of the spatial distribution of magnetic field of a microelectromechanical systems (MEMS) with the aid of magneto-optical indicator ferrite garnet films (MOIF). In order to increase the accuracy and the dynamic range of measure a procedure was developed including the use of auxiliary external field resulting in a controlled shift of the zero-field lines. In this case the MOIF serves as a null-indicator eliminating the dependence of the measuring results on the specific transfer parameters (linearity characteristics). Imposition of biasing field provides a possibility of shifting the saturation threshold field of the MOIF either in the region of positive or negative values.
Keywords: magnetic measurements, magneto-optical effects, indicator films, microelectromechanical systems (MEMS), dynamic range of measurement.

Bibliography link:
Virchenko, M.K. Magnetooptical control of spatial magnetic field distribution in microelectromechanical systems / M.K. Virchenko, R.M. Eguzhokova, A.B. Zaletov, A.I. Ivanova // Physical and chemical aspects of the study of clusters, nanostructures and nanomaterials: Interuniversity collection of proceedings / Ed. by V.M. Samsonov, N.Yu. Sdobnyakov. – Tver: TSU, 2017. – I. 9. – P. 128-132.

Full text (in Russian): download pdf file

Комментарии отключены.