Магнитооптический контроль пространственных распределений магнитного поля микроэлектромеханических систем

М.К. Вирченко, Р.М. Егужокова, А.Б. Залетов, А.И. Иванова
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»

DOI: 10.26456/pcascnn/2017.9.128

Аннотация: Проведено исследование пространственных распределений магнитного поля в широких пределах микроэлектромеханических систем (МЭМС) с помощью магнитооптических индикаторных плёнок феррит-гранатов (МОИП). Для повышения точности и расширения динамического диапазона была разработана процедура измерений с помощью вспомогательных внешних полей, накладываемых на образец в процессе испытаний, что приводит к контролируемому смещению изолиний нулевого поля объекта в ту или иную сторону.
Ключевые слова: магнитные измерения, магнитооптические эффекты, индикаторные плёнки, феррит-гранаты, микроэлектромеханические системы (МЭМС), динамический диапазон измерений.

Библиографическая ссылка:
Вирченко, М.К. Магнитооптический контроль пространственных распределений магнитного поля микроэлектромеханических систем / М.К. Вирченко, Р.М. Егужокова, А.Б. Залетов, А.И. Иванова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. – Тверь: Твер. гос. ун-т, 2017. – Вып. 9. – С. 128-132.

Полный текст: загрузить pdf файл