Электрохимические методы формирования наноструктурированных толстослойных Al2O3 -покрытий для создания эффективных теплопроводящих оснований
Д.Л. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
DOI: 10.26456/pcascnn/2016.8.410
Оригинальная статья
Аннотация: Оптимизированы методы электрохимического анодирования алюминиевых сплавов в однокомпонентных и двухкомпонентных порообразующих электролитах для изготовления широкоформатных алюмооксидных оснований (в том числе с наличием радиаторных систем) с односторонними и двухсторонними диэлектрическими покрытиями из анодного оксида алюминия на плоских поверхностях. Представлен сравнительный анализ влияния электрохимических режимов анодирования и предварительной температурной обработки Al на толщину и скорость формирования наноструктурированных анодных Al2O3 -пленок.
Ключевые слова: алюминий, электрохимическое анодирование, пористый анодный оксид алюминия, наноструктурированный материал, скорость анодирования, основание, радиаторная система теплоотвода
- Шиманович Дмитрий Леонидович – заведующий НИЛ 4.2 «Технология гибридных микросхем», кафедра микро- и наноэлектроники, факультет радиотехники и электроники, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Ссылка на статью:
Шиманович, Д.Л. Электрохимические методы формирования наноструктурированных толстослойных Al2O3 -покрытий для создания эффективных теплопроводящих оснований / Д.Л. Шиманович // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2016. — Вып. 8. — С. 410-417. DOI: 10.26456/pcascnn/2016.8.410.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Шиманович, Д.Л. Методы создания встроенных алюминиевых коммутационных элементов в объеме свободных анодных 2 3 Al O -оснований / Д.Л. Шиманович // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2013. – Т. 13. – № 3. – С. 186-189.
2. Шиманович, Д.Л. Методы формирования алюмооксидных микроструктур для мощных систем электромеханики / Д.Л. Шиманович, В.А. Сокол, Г.В. Литвинович // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2014. – Т. 14. – № 3. – С. 170-173.
3. Шиманович, Д.Л. Электрохимический синтез свободных двухслойных 2 3 Al O -пластин для СВЧ-систем / Д.Л. Шиманович // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2013. – Т. 13. – № 3. – С. 182-185.
4. Сокол, В.А. Технологические приемы формирования Al – Al2O3 микроструктур для мощных электромеханических систем / В.А. Сокол, Д.Л. Шиманович, Г.В. Литвинович // Доклады БГУИР. – 2012. – № 8. – С. 44-49.
5. Шиманович, Д.Л. Технологические приемы повышения термической устойчивости при формировании толстослойных нанопористых анодных оксидов алюминия / Д.Л. Шиманович, Д.И. Чушкова, В.А. Сокол // Материалы и структуры современной электроники: материалы докладов V международной научной конференции, Минск, 10-11 октября 2012 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2012. – С. 199-202.