О размерной зависимости коэффициента поглощения наноразмерной пленки этилового спирта на кремнии
Н.В. Новожилов, Н.Ю. Сдобняков, И.Д. Родин
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
DOI: 10.26456/pcascnn/2016.8.269
Оригинальная статья
Аннотация: В данной работе с использованием фотометрического спектроэллипсометра «Эльф» на основе анализа спектра эллипсометрических углов Ψ и Δ было проведено исследование размерной зависимости коэффициента поглощения пленки этилового спирта на кремнии.
Ключевые слова: эллипсометрия, наноразмерные жидкие пленки, коэффициент поглощения, этиловый спирт, кремний
- Новожилов Николай Владимирович – аспирант кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Сдобняков Николай Юрьевич – к.ф.-м.н., доцент кафедры общей физики ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет», заместитель главного редактора сборника, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Родин Илья Димитриевич – студент специализации кафедры общей физики, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
Ссылка на статью:
Новожилов, Н.В. О размерной зависимости коэффициента поглощения наноразмерной пленки этилового спирта на кремнии / Н.В. Новожилов, Н.Ю. Сдобняков, И.Д. Родин // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2016. — Вып. 8. — С. 269-272. DOI: 10.26456/pcascnn/2016.8.269.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Ким, Д.А. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки этилового спирта / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.В. Воронова, О.В. Михайлова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2012. − Вып. 4. − С. 122-128.
2. Ким, Д.А. Измерение показателя преломления наноразмерной пленки этилового спирта / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.А. Воронова // Нанотехника. − 2013. − № 2 (34). − С. 72-74.
3. Сдобняков, Н.Ю. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки ацетона / Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. /
под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2014. Вып. 6. − С. 349-352.
4. Сдобняков, Н.Ю. О методике оценки зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки эллипсометрическим методом / Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова (Зонова) // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2015. − С. 444-449.
5. Weir, K. Dynamic measurement of thin liquid film parameters using high-speed ellipsometry / K. Weir, P.V.P. Yupapin, R. Chitaree, A.W. Palmer, K.T.V. Grattan // Sensors and Actuators A: Physical. − 1998. − V. 65. − № 1. − P. 19-22.
6. Webster, R.D. In situ electrochemical-ellipsometry studies of charge-transfer processes at the liquid/liquid interface / R.D. Webster, D. Beaglehole // Physical Chemistry Chemical Physics. − 2000. − V. 2. − P. 5660-5666.
7. Hasunuma, R. Nonuniformity in Ultrathin 2 SiO on (111) Si Characterized by Conductive Atomic Force Microscopy / R. Hasunuma, J. Okamoto, N.Tokuda, K. Yamabe // Japanese Journal of Applied Physics. − 2004. − V. 43. − P. 7861-7865.
8. Чураева, М.Н. Определение оптических характеристик толстых слабопоглощающих пленок методом спектральной эллипсометрии / М.Н. Чураева, З.М. Зорин, Н.И. Конюшкина. В кн.: Эллипсометрия: теория, методы, приложения:
сборник статей; отв. ред. чл.-корр. АН СССР К.К. Свиташева, А.С. Мардежова. – Новосибирск: Наука, 1991. – 253 с.
9. Григорьева, Т.И. Эллипсометрическое определение толщины титана для цепей волноводной оптики / Т.И. Григорьева, К.К. Зилинг, А.С. Мардежов, Т. Хасанов // Препринт 3-85. – Новосибирск: ИФП СО РАН. Новосибирск, 1985. – 10 с.