Принципы конструктивно-технологического формирования емкостных влагосенсорных Al2O3-наноструктур и исследование их чувствительных параметров
Д.Л. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.533
Оригинальная статья
Аннотация: Разработаны объемно-планарные варианты емкостных МДМ (металл-диэлектрик-металл) структурвертикальной направленности, основанных на высокоорганизованных матрицах свободных мембран пористого оксида алюминия для применения во влагочувствительных элементах. Улучшение чувствительности к влаге, снижение времени отклика и времени восстановления в широком диапазоне измерения относительной влажности были получены благодаря формированию алюмооксидных мембран без барьерного слоя со сквозными и расширенными порами. Такой технологический подходпозволил исключить влияние анионов электролита анодирования, встроенных на внешней сторонестенок пор, на механизм адсорбционных и десорбционных процессов влагочувствительных элементов.
Ключевые слова: алюминий, электрохимическое анодирование, пористый оксид алюминия, барьерный слой, мембрана, наноструктурированный материал, влагочувствительный элемент, адсорбция, время отклика, время восстановления, чувствительность
- Шиманович Дмитрий Леонидович – с.н.с. кафедры микро- и наноэлектроники факультета радиотехники и электроники, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Ссылка на статью:
Шиманович, Д.Л. Принципы конструктивно-технологического формирования емкостных влагосенсорных Al2O3-наноструктур и исследование их чувствительных параметров / Д.Л. Шиманович // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2015. — Вып. 7. — С. 533-540. DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.533.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Шиманович, Д.Л. Технологические особенности электрохимического синтеза пористых мембран на основе наноструктурированного анодного 2 3 Al O в качестве фильтров медицинского применения / Д.Л. Шиманович // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2014. – Т. 14. – № 3. – С. 166-169.
2. Шиманович, Д.Л. Методы электрохимического формирования однослойных и двухслойных мембранных структур на основе наноструктурированного анодного оксида алюминия / Д.Л. Шиманович, Д.И. Чушкова, В.А. Сокол // Известия НАН Беларуси. Серия физико-технических наук. – 2014. – № 2. – С. 19-23.
3. Shimanovich, D.L. Free nanostructured membranes formation of anodic 2 3 Al O with open-ended pores / D.L. Shimanovich, V.A. Sokol, V.A. Jakovceva, D.I. Chushkova // XVII Международная научно-техническая конференция «Современные средства связи»: материалы докладов, Минск, 16-18 октября 2012 года: сборник трудов. – Минск: УО ВГКС, 2012. – С. 140-141.
4. Shimanovich, D.L. Membrane humidity sensor based on the nanostructured porous 2 3 Al O / D.L. Shimanovich, V.A. Sokol, V.A. Jakovceva, D.I. Chushkova // XVII Международная научно-техническая конференция «Современные средства связи»:
материалы докладов, Минск, 16-18 октября 2012 года: сборник трудов. – Минск: УО ВГКС, 2012. – С. 138-139.