О методике оценки зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки эллипсометрическим методом
Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова (Зонова)
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.444
Оригинальная статья
Аннотация: В данной работе с использованием фотометрического спектроэллипсометра «Эльф» на основе анализа спектра эллипсометрических углов ψ и Δ изложена методика оценки зависимости показателя преломления для наноразмерных жидких пленок.
Ключевые слова: фотометрический спектроэллипсометр, наноразмерные жидкие пленки, показатель преломления, размерная зависимость
- Сдобняков Николай Юрьевич – к.ф.-м.н., доцент кафедры общей физики, заместитель главного редактора сборника, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Новожилов Николай Владимирович – аспирант кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Антонов Александр Сергеевич – аспирант кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Воронова Елена Александровна – н.с. кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Михайлова (Зонова) Ольга Владимировна – н.с. кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
Ссылка на статью:
Сдобняков, Н.Ю. О методике оценки зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки эллипсометрическим методом / Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова (Зонова) // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2015. — Вып. 7. — С. 444-449. DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.444.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Ким, Д.А. Исследование особенностей размерной зависимости показателя преломления наноразмерной плёнки этилового спирта на различных подложках / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.А. Воронова // Труды международного междисциплинарного симпозиума «Физика поверхностных явлений, межфазных границ и фазовые переходы» ФПЯ и ФП 3, Нальчик – Ростов н/Д – Туапсе: труды симпозиума, 17-21 сентября 2013. Выпуск 3. – Нальчик – Ростов н/Д – Туапсе: Изд-во СКНЦ ВШ ЮФУ АПСН, 2013. – С. 202-205.
2. Ким, Д.А. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки этилового спирта / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.В. Воронова, О.В. Михайлова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2012. − Вып. 4. − С. 122-128.
3. Ким, Д.А. Измерение показателя преломления наноразмерной пленки этилового спирта / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.А. Воронова // Нанотехника. − 2013. − № 2 (34). − С. 72-74.
4. Сдобняков, Н.Ю. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки ацетона / Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова //Четвертый международный междисциплинарный симпозиум «Физика поверхностных явлений, межфазных границ и фазовые переходы» ФПЯ и ФП 4, Нальчик – пос. Южный, 16-21 сентября 2014: труды симпозиума. Выпуск 4. – Нальчик – Ростов н/Д – Грозный – пос. Южный: Изд-во Фонд науки и образования, 2014. – Т. 1. − С. 93-95.
5. Сдобняков, Н.Ю. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки ацетона / Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2014. − Вып. 6. − С. 349-352.
6. Любинская, Р.И. Определение четырех параметров системы изотропная пленка – ориентированный одноосный кристалл / Р.И. Любинская, А.С. Мардежов, К.К. Свиташев, Т. Хасанов // Оптика и спектроскопия. − 1988. − Т. 65. − № 3. −
С. 632-636.
7. Giorgetti, E. Stable gold nanoparticles obtained in pure acetone by laser ablation with different wavelengths / E. Giorgetti, M. Muniz-Miranda, P. Marsili, D. Scarpellini, F. Giammanco // Journal of Nanoparticle Research. − 2012. − V. 14:648. − I. 1. − P. 1-13.
8. Melezhik, A.V. Synthesis of carbon nanotubes from acetone / A.V. Melezhik, M.A. Smykov, E.Yu. Filatova, A.V. Shuklinov, R.A.
Stolyarov, I.S. Larionova, A.G. Tkachov // Theoretical Foundations of Chemical Engineering. − 2013. − V. 47. − I. 4. − P. 435-443.
9. Самсонов, В.М. Термодинамический подход к проблеме размерной зависимости температуры плавления тонких пленок / В.М. Самсонов, Н.Ю. Сдобняков, А.Г. Бембель, Д.Н. Соколов, Н.В. Новожилов // Шестнадцатый междисциплинарный симпозиум «Порядок, беспорядок и свойства оксидов» (ODPO-16), Нальчик – Ростов н/Д – Туапсе, 7-12 сентября 2013: труды симпозиума. Выпуск 16. – Нальчик – Ростов н/Д – Туапсе: Изд-во СКНЦ ВШ ЮФУ АПСН, 2013. – Т. 2. – С. 116-120.
10. Самсонов В.М. Термодинамический подход к проблеме размерной зависимости температуры плавления тонких пленок / В.М. Самсонов, Н.Ю. Сдобняков, А.Г. Бембель, Д.Н. Соколов // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2012. − Вып. 4. − С. 257-263.
11. Самсонов, В.М. Термодинамический подход к проблеме размерной зависимости температуры плавления тонких пленок / В.М. Самсонов, Н.Ю. Сдобняков, А.Г. Бембель, Д.Н. Соколов, Н.В. Новожилов // Известия РАН. Серия физическая. − 2014. − T. 78. − № 8. − C. 960-963.
12. Samsonov, V.M. Size dependence of the melting temperature of metallic films: two possible scenarios / V.M. Samsonov, N.Yu. Sdobnyakov, A.G. Bembel, D.N. Sokolov, N.V. Novozhilov // Journal of Nano- and Electronic Physics. − 2013. − V. 5. − № 4. −
P. 04005-1-04005-3.
13. Самсонов, В.М. Термодинамическая модель плавления тонких металлических пленок / В.М. Самсонов, Н.Ю. Сдобняков, Д.Н. Соколов, М.В. Самсонов, Н.В. Новожилов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные
исследования. − 2015. − № 8. − С. 76-80.
14. Антонов, В.А. Эллипсометрия неоднородных поверхностных слоев и пленок / В.А. Антонов, О.С. Дронь, В.И. Пшеницин. В кн.: Эллиспометрия – метод исследования поверхности; отв. ред. А.В. Ржанов. – Новосибирск: Наука, 1983. –
С. 9-13.
15. Бойнович, Л.Б. Применение эллипсометрии свободных пленок для определения показателей преломления субтонких
слоев жидкости / Л.Б. Бойнович, А.М. Емельяненко. В кн.: Эллипсометрия: теория, методы, приложения: сборник статей; отв. ред. чл.-корр. АН СССР К.К. Свиташева, А.С. Мардежова. – Новосибирск: Наука, 1991. – 253 с.
16. Аззам, Р. Эллипсометрия и поляризованный свет; пер. с англ. под ред. чл.-корр. АН СССР А.В. Ржанова, К.К. Свиташева / Р. Аззам, Н. Башара. – М.: Мир, 1981. – 583 с.
17. Григорьева, Т.И. Эллипсометрическое определение толщины титана для цепей волноводной оптики / Т.И. Григорьева, К.К. Зилинг, А.С. Мардежов, Т. Хасанов // Препринт 3-85. – Новосибирск: ИФП СО РАН. Новосибирск, 1985. – 10 с.