Молекулярно-динамическая модель технологии получения аморфных металлических пленок методом конденсации на охлажденной подложке
В.М. Самсонов, С.А. Васильев, А.Г. Бембель
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.407
Оригинальная статья
Аннотация: Разработана компьютерная программа, позволяющая имитировать процессы тонкопленочной и эпитаксиальной технологий в компьютерном молекулярно-динамическом эксперименте. Программа апробирована на примере технологии получения аморфных металлических пленок методом конденсации на металлической охлажденной поверхности. Установлено, что даже при высоких скоростях охлаждения от комнатной температуры ( 300 К) до гелиевой температуры ( 4 K) пучок атомов серебра формирует кристаллическую островковую пленку. Атомы золота в аналогичных условиях формирует аморфную пленку. Полученный результат согласуется с результатами прямых экспериментов, согласно которым серебро не удается перевести в аморфное состояние даже при максимально доступных скоростяхохлаждения.
Ключевые слова: аморфные металлические пленки, метод конденсации на охлажденной подложке, молекулярная динамика
- Самсонов Владимир Михайлович – д.ф.-м.н., профессор кафедры общей физики, главный редактор сборника, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Васильев Сергей Александрович – магистрант кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Бембель Алексей Глебович – к.ф.-м.н., н.с. кафедры общей физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
Ссылка на статью:
Самсонов, В.М. Молекулярно-динамическая модель технологии получения аморфных металлических пленок методом конденсации на охлажденной подложке / В.М. Самсонов, С.А. Васильев, А.Г. Бембель // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2015. — Вып. 7. — С. 407-412. DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.407.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Попель, С.И. Атомное упорядочение в расплавленных и аморфных металлах / С.И. Попель, М.А. Спиридонов, Л.А. Жукова. – Екатеринбург, УГТУ, 1997. – 384 с.
2. Либерман, Х.Х. Приготовление образцов: различные методы и описание способов закалки из расплава / Х.Х. Либерман. В кн.: Аморфные металлические сплавы; под редакцией Ф.Е. Люборского; пер. с англ. – М: Металлургия, 1987. – С. 38-52.
3. Чен, Х.С. Металлические стекла / Х.С. Чен, К.Л. Диксон. В кн.: Сверхбыстрая закалка жидких сплавов; под ред. Г.М. Германа. – М.: Металлургия, 1986. – С. 173-209.
4. Гриднев, С.А. Нелинейные явления в нано- и микрогетерогенных системах / С.А. Гриднев, Ю.Е. Калинин, А.В. Ситников, О.В. Стогней. – М.: БИНОМ, 2015. – 352 с.
5. Бембель, А.Г. Молекулярно-динамическое моделирование структурных и фазовых превращений в свободных нанокластерах и наночастицах на поверхности твердого тела: дисс. … кан. физ.-мат. наук: 01.04.07: защищена 2.03.2012 / Бембель Алексей Глебович. – Тверь: ТвГУ, 2012. – 173 с.
6. Бембель, А.Г. Молекулярно-динамическое исследование закономерностей и механизмов конденсированного роста
островковых пленок / А.Г. Бембель, В.М. Самсонов, М.Ю. Пушкарь // Известия РАН. Серия физическая. – 2009. – Т. 73. –
№ 8. – С. 1203-1205.
7. Чистяков, Ю.Д. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. – М.: Металлургия, 1979. – 408 с.
8. Cleri, F. Tight-binding potentials for transition metals and alloys / F. Cleri, V. Rosato // Physical Review B. – 1993. – V. 40. – V. 1. – P. 22-33.
9. Киттель, Ч. Введение в физику твердого тела / Ч. Киттель. – М.: Наука, 1978. – 792 с.
10. Кобеко, П.П. Аморфные вещества: Физико-химические свойства простых и высокомолекулярных аморфных тел / П.П. Кобеко. – М. - Л.: Изд-во АН СССР, 1952. – 431 с.