Температурная зависимость поверхностной фото ЭДС монокристаллического кремния p — типа
В.К. Люев, И.В. Люев
ФГБО ВПО «Кабардино-Балкарский государственный университет имени Х. М. Бербекова»
DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.350
Оригинальная статья
Аннотация: Методом поверхностной фото-ЭДС исследована реальная поверхность монокристаллического кремния p–типа в интервале температур T=289 – 437 K. Обнаружено существенное различие спектров ПЭС, полученных при нагревании и охлаждении образцов. Нагрев приводит к десорбции газов и диссоциации молекул воды в поверхностном слое, что уменьшает поверхностный потенциал на порядок.
Ключевые слова: фотоэдс, поверхностный потенциал, кремний p – типа
- Люев Валерий Кашифович – к.ф.-м.н., доцент кафедры материалов и компонентов твердотельной электроники факультета микроэлектроники и компьютерных технологий, ФГБО ВПО «Кабардино-Балкарский государственный университет имени Х. М. Бербекова»
- Люев Ислам Валерьевич – студент 4 курса факультета микроэлектроники и компьютерных технологий, ФГБО ВПО «Кабардино-Балкарский государственный университет имени Х. М. Бербекова»
Ссылка на статью:
Люев, В.К. Температурная зависимость поверхностной фото ЭДС монокристаллического кремния p — типа / В.К. Люев, И.В. Люев // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2015. — Вып. 7. — С. 350-353. DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.350.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Остроумова, Е.В. Спектры поверхностных состояний в кремнии p – типа / Е.В. Остроумова // Физика и техника полупроводников. – 1975. – T. 9. – № 8. – С. 1503-1506.
2. Дмитрук, Н.Л. Структура, электронные состояния и электрофизические свойства поверхности арсенида галлия / Н.Л. Дмитрук // Известия ВУЗов. Физика. – 1980. – № 1. – С. 38-51.
3. Антощук, В В. Инфракрасные спектры поверхностной фотопроводимости и фотоэдс n – Si / В.В. Антощук, В.Е. Примаченко, О.В. Снитко // Физика и техника полупроводников. – 1977. – Т. 11. – № 2. – С. 305-309.
4. Карпович, И.А. Влияние адсорбции атомов металлов в вакууме на свойства реальной поверхности германия / И.А. Карпович, Б.И. Бедный, А. Н. Калинин // Известия ВУЗов. Физика. – 1976. – № 4. – С. 122-124.