Исследование влияния шага сканирования на спектр ИК-пропускания пленок нитрида алюминия
О.С. Зурхаева, Д.С. Зурхаев, Л.П. Арефьева
ФГАОУ ВПО «Северо-Кавказский федеральный университет»
DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.208
Оригинальная статья
Аннотация: Исследовано влияние шага сканирования на спектр ИК-пропускания тонких пленок нитрида алюминия. Установлены оптимальные условия сканирования, при которых соотношение шум-сигнал минимально.
Ключевые слова: ИК-спектроскопия, нитрид алюминия, тонкие пленки, широкозонные полупроводники, спектры пропускания
- Зурхаева Олеся Станиславовна – магистрант кафедры технологии наноматериалов Института электроэнергетики, электроники и нанотехнологий, ФГАОУ ВПО «Северо-Кавказский федеральный университет»
- Зурхаев Дмитрий Сергеевич – магистрант кафедры технологии наноматериалов Института электроэнергетики, электроники и нанотехнологий, ФГАОУ ВПО «Северо-Кавказский федеральный университет»
- Арефьева Людмила Павловна – к.ф.-м.н., доцент кафедры технологии наноматериалов Института электроэнергетики, электроники и нанотехнологий, ФГАОУ ВПО «Северо-Кавказский федеральный университет»
Ссылка на статью:
Зурхаева, О.С. Исследование влияния шага сканирования на спектр ИК-пропускания пленок нитрида алюминия / О.С. Зурхаева, Д.С. Зурхаев, Л.П. Арефьева // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. — 2015. — Вып. 7. — С. 208-215. DOI: 10.26456/pcascnn/2015.7.208.
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Илясов, В.В. Электронная энергетическая структура и рентгеновские спектры широкозонных кристаллов, AlN BN и их твердых растворов 1 x x B Al N - / В.В. Илясов, Т.П. Жданова, И.Я. Никифоров // Физика твердого тела. – 2005. – Т. 47. – Вып. 9. – С. 1559 -1566.
2. Берт, Н.А. Свойства нитрида алюминия, полученного методом реактивного ионно-плазменного распыления / Н.А. Берт, А.Д. Бондарев, В.В. Золотарев и др. // Физика и техника полупроводников. – 2015. – Т. 49. – Вып. 10. – С. 1429-1433.
3. Дитц, А.А. Получение высокотеплопроводных материалов из нитрида алюминия / А.А. Дитц, Н.А. Митина, А.А. Земникая, Н.Е. Пестрецова, К.В. Ларина // Известия высших учебных заведений. Физика. – 2012. – Т. 55. – № 5-2. – С. 110-113.
4. Панин, В.Е. Структура и механические свойства нанокристаллических покрытий на основе карбидов и нитридов титана и алюминия / В.Е. Панин, В.П. Сергеев, М.В. Федорищева, О.В. Сергеев, А.В. Воронов // Физическая мезомеханика. – 2004. – Т.7. – № 52. – С. 321-324.
5. Иванов, С.Н. Теплофизические свойства керамического нитрида алюминия / С.Н. Иванов, П.А. Попов, Г.В. Егоров, А.А. Сидоров, Б.И. Корнев, Л.М. Жукова, В.П. Рябов // Физика твердого тела. –1999. – Т. 39. – № 1. – С. 93-96.
6. Давыдов, С.Ю. Упругие свойства нитридов галлия и алюминия / С.Ю. Давыдов, А.В. Соломонов // Письма в Журнал технической физики. – 1999. – Т. 25. – № 15. – С. 23-26.
7. Орешкин, П.Т. Физика полупроводников и диэлектриков: учебное пособие / П.Т. Орешкин. – М.: Высшая школа, 1997. – 448 с.
8. Акашев, Л.А. Синтез наноразмерных слоев нитрида алюминия / Л.А. Акашева, Н.А. Попов, В.А. Кочедыков, В.Г. Шевченко // Письма в Журнал технической физики. – 2013. – Т.39. – № 3. – С. 26-32.
9. Абакумова, Н.В. Применение нитрида алюминия в мощных приборах СВЧ / Н.В. Абакумова, А.К. Балыко, А.Н. Королев //
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. – 2009. – Т. 9. – № 2. – С. 171-173.
10. Белл, Р. Дж. Введение в фурье-спектроскопию / Р. Дж. Белл; пер. с англ. – М.: Мир, 1975. – 382 с.
11. Кириленко, В.В. Синтез пленкообразующих материалов на основе нитрида алюминия для формирования из них оптических покрытий / В.В. Кириленко, Б.М. Жигарновский, В.К. Павловский, И.П. Маркелова, А.В. Михайлов, А.С. Муранова // Оптический журнал. – 2008. – Т. 75. – № 12. – С. 50-56.
12. Светосильные спектральные приборы / под ред. К.И. Тарасова. – М.: Наука, 1988. – 262 c.
13. Тарала, В.А. Выращивание пленок нитрида алюминия методом плазмоактивированного осаждения с раздельной подачей реагентов / В.А. Тарала, А.С. Алтахов, М.Ю. Шевченко и др. // Неорганические материалы. – 2015. – Т. 51. – № 7. –С. 795.
14. Berreman D.W. Infrared absorption at longitudinal optic frequency in cubic crystal films / D. Berreman // Physical Review. – 1963. – V. 130. – I. 6. – P. 2193-2198.