Технологические способы синтеза высокоорганизованных мембранных наноструктурированных матриц на основе пористого анодного оксида алюминия
Д.Л. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
DOI: 10.26456/pcascnn/2014.6.438
Оригинальная статья
Аннотация: Разработаны технологические способы формирования свободных пористых однослойных Al2O3 –мембран толщиной ∼ 30 −70 мкм со сквозными каналами модифицированных пор диаметром ∼ 50 − 90 нм с использованием двухстадийного одностороннего анодирования в электролите щавелевой кислоты и комбинированной методики удаления барьерного слоя.
Ключевые слова: алюминий, электрохимическое анодирование, пористый оксид алюминия, барьерный слой, мембрана, наноструктурированный материал
- Шиманович Дмитрий Леонидович – с.н.с. кафедры микро- и наноэлектроники факультета радиотехники и электроники, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Ссылка на статью:
Шиманович, Д.Л. Технологические способы синтеза высокоорганизованных мембранных наноструктурированных матриц на основе пористого анодного оксида алюминия / Д.Л. Шиманович // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - 2014. - Вып. 6. - С. 438-443. DOI: 10.26456/pcascnn/2014.6.438. ⎘
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Сокол, В.А. Особенности применения пористых оксидов алюминия / В.А. Сокол, В.А. Яковцева, Д.Л. Шиманович // Доклады БГУИР. – 2012. – № 2 (64). – С. 21-27.
2. Шиманович, Д.Л. Технологические способы формирования Al2O3-пластин в качестве оснований для структур СВЧ-диапазона / Д.Л. Шиманович // 23-я Международная Крымская конференция «СВЧ-техника и телекоммуникационные
технологии»: материалы докладов, Севастополь (8-13 сентября 2013 года). – Севастополь: Вебер, 2013. – С. 736-737.
3. Шиманович, Д.Л. Электрохимические приемы формирования свободных наноструктурированных матриц из анодного Al2O3 со сквозными модифицированными порами / Д.Л. Шиманович, Д.И. Чушкова, В.А. Сокол // VII Всероссийская конференция молодых ученых «Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика»: тезисы докладов, Саратов (24-26 сентября 2012 года). – Саратов: СГУ, 2012. – С. 188-189.
4. Shimanovich, D.L. Free nanostructured membranes formation of anodic Al2O3 with open-ended pores / D.L. Shimanovich, V.A. Sokol, V.A. Jakovceva, D.I. Chushkova // XVII Международная научно-техническая конференция «Современные средства связи»: материалы докладов, Минск (16-18 октября 2012 года). – Минск: УО ВГКС, 2012. – С. 140-141.
5. Чушкова, Д.И. Электрохимические особенности формирования свободных наноструктурированных матриц из Al2O3 со сквозными модифицированными порами / Д.И. Чушкова, Д.Л. Шиманович, В.А. Сокол // V Международная научная конференция «Материалы и структуры современной электроники»: сборник научных трудов, Минск (10-11 октября 2012 года). – Минск: БГУ, 2012. – С. 195-199.
6. Шиманович, Д.Л. Влагочувствительные сенсорные элементы на основе мембранных наноструктур из пористого Al2O3 / Д.Л. Шиманович, Д.И. Чушкова, В.А. Сокол // VII Всероссийская конференция молодых ученых «Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика»: тезисы докладов, Саратов (24-26 сентября 2012
года). – Саратов: СГУ, 2012. – С. 190-191.
7. Shimanovich, D.L. Membrane humidity sensor based on the nanostructured porous Al2O3 / D.L. Shimanovich, V.A. Sokol, V.A. Jakovceva et al. // XVII Международная научно-техническая конференция «Современные средства связи»: материалы докладов, Минск (16-18 октября 2012 года). – Минск: УО ВГКС, 2012. – С. 138-139.
8. Шиманович, Д.Л. Методы удаления барьерного слоя при формировании наноструктурированных мембран на основе анодного пористого Al2O3 / Д.Л. Шиманович, Д.И. Чушкова, В.А. Сокол // XV Международная конференция «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы»: сборник трудов, Ульяновск (4-7 сентября 2012 года). – Ульяновск: УлГУ, 2012. – С. 19-20.