Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки ацетона
Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова
ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
DOI: 10.26456/pcascnn/2014.6.349
Оригинальная статья
Аннотация: В данной работе с использованием фотометрического спектроэллипсометра «Эльф» на основе анализа спектра эллипсометрических углов ψ и ∆ было проведено исследование зависимости показателя преломления наноразмерной пленки ацетона, нанесенной на подложку из кремния, от ее толщины.
Ключевые слова: фотометрический спектроэллипсометр, наноразмерные пленки ацетона, показатель преломления, размерная зависимость
- Сдобняков Николай Юрьевич – к.ф.-м.н., доцент кафедры теоретической физики, заместитель главного редактора, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Новожилов Николай Владимирович – аспирант кафедры теоретической физики физико-технического факультета, технический редактор сборника, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Антонов Александр Сергеевич – аспирант кафедры теоретической физики физико-технического факультета, технический редактор сборника, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Воронова Елена Александровна – магистр кафедры теоретической физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
- Михайлова Ольга Владимировна – магистр кафедры теоретической физики физико-технического факультета, ФГБОУ ВО «Тверской государственный университет»
Ссылка на статью:
Сдобняков, Н.Ю. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки ацетона / Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Е.А. Воронова, О.В. Михайлова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - 2014. - Вып. 6. - С. 349-352. DOI: 10.26456/pcascnn/2014.6.349. ⎘
Полный текст: загрузить PDF файл
Библиографический список:
1. Weir, K. Dynamic measurement of thin liquid film parameters using high-speed ellipsometry / K. Weir, P.V.P. Yupapin, R. Chitaree, A.W. Palmer, K.T.V. Grattan // Sensors and Actuators A: Physical. − 1998. − V. 65. − № 1. − P. 19-22.
2. Webster, R.D. In situ electrochemical-ellipsometry studies of charge-transfer processes at the liquid/liquid interface / R.D. Webster, D. Beaglehole // Physical Chemistry Chemical Physics. − 2000. − V. 2. − P. 5660-5666.
3. Hasunuma, R. Nonuniformity in Ultrathin 2 SiO on (111)Si Characterized by Conductive Atomic Force Microscopy / R. Hasunuma, J. Okamoto, N.Tokuda, K. Yamabe // Japanese Journal of Applied Physics. − 2004. − V. 43. − P. 7861-7865.
4. Ким, Д.А. Исследование эллипсометрическим методом зависимости показателя преломления от толщины наноразмерной пленки этилового спирта / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.В. Воронова, О.В. Михайлова // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов: межвуз. сб. науч. тр. / под общей редакцией В.М. Самсонова, Н.Ю. Сдобнякова. − Тверь: Твер. гос. ун-т, 2012. − Вып. 4. − С. 122-128.
5. Ким, Д.А. Измерение показателя преломления наноразмерной пленки этилового спирта / Д.А. Ким, Н.Ю. Сдобняков, Н.В. Новожилов, А.С. Антонов, Д.Н. Соколов, Е.А. Воронова // Нанотехника. − 2013. − № 2 (34). − С. 72-74.
6. Giorgetti, E. Stable gold nanoparticles obtained in pure acetone by laser ablation with different wavelengths / E. Giorgetti, M. Muniz-Miranda, P. Marsili, D. Scarpellini, F. Giammanco // Journal of Nanoparticle Research. − 2012. − V. 14:648. − I. 1. − P. 1-13.
7. Melezhik, A.V. Synthesis of carbon nanotubes from acetone / A.V. Melezhik, M.A. Smykov, E.Yu. Filatova, A.V. Shuklinov, R.A. Stolyarov, I.S. Larionova, A.G. Tkachov // Theoretical Foundations of Chemical Engineering. − 2013. − V. 47. − I. 4. − P. 435-443.